Toshiba und NuFlare erhalten den 59. Okochi Memorial Grand Production Prize

TOKIO (Japan)--(BUSINESS WIRE)--Toshiba Corporation (Toshiba) (TOKYO:6502) und NuFlare Technology, Inc. (NFT) (JASDAQ:6256) haben den 59. Okochi Memorial Grand Production Prize für ihre gemeinsame Entwicklung und praktische Anwendung von Elektronenstrahl-Maskenbelichtern erhalten. Die Preisverleihung findet am 22. März in Tokio statt.

LSI-Schaltkreise werden mithilfe von Lithografie-Tools hergestellt, die Schaltkreis-Urmuster auf Wafer projizieren und verkleinern. Die Schaltkreis-Urmuster werden zuerst mit Elektronenstrahl-Maskenbelichtern auf Masken geschrieben. Früher setzten die meisten Elektronenstrahl-Maskenbelichter Punktstrahlen zum Belichten der Muster ein, die aufgrund der Skalierung der LSIs kleiner werden mussten. Dieser Schritt verlängerte die Belichtungszeit für Masken und er wurde zur entscheidenden Herausforderung, die Produktivität in der Maskenherstellung zu optimieren.

Toshiba und NFT haben gemeinsam einen praktischen Elektronenstrahl-Maskenbelichter mit besserer Belichtungspräzision und Produktivität entwickelt, der die Variable Shaped Beam-Maskenbelichtungsmethode (VSB) verwendet, in der Elektronenstrahlen in die gewünschten Formen gebracht werden, um die Muster auszufüllen.

Die Unternehmen haben ein neues Formel- und Berechnungssystem entwickelt, das eine schnellere und präzisere Korrektur der Nahwirkung erreicht, des Phänomens, nach dem verstreute Elektronen aus dem Maskensubstrat die Strahlenbelichtung ändern und die Präzision des Maskenmusters beeinträchtigen. Die frühere Technologie erforderte einige Berechnungstage, um den Zielberechnungsfehler von weniger als 0,5 Prozent zu erreichen. Mit der neuen Formel wird die Berechnungszeit auf unter eine Stunde gesenkt, sodass die Echtzeitberechnungen mit der Musterbelichtung koordiniert werden können (Strahlabtastung und Tool-Phasenbewegungen).

Die Masken-Belichtungszeit wurde durch den Einsatz und die Anwendung einer sehr hellen Elektronenquelle verkürzt. Dieser Optimierungsschritt wurde durch die Verbesserung des Materials der Elektronenquelle und der Betriebsbedingungen erzielt, sodass die Helligkeit – die Menge der Elektronen, die in einem bestimmten Zeitraum emittiert werden – gesteigert wurde. Damit wird in Zukunft der Zeitaufwand für die Belichtung der Maske mit Elektronenstrahlen um 95 Prozent gesenkt, sodass die Belichtungszeit signifikant gesenkt wird.

Die Unternehmen werden innovative Technologie weiterhin fördern, um die wachsende Nachfrage nach Maskenbelichtern mit höherer Präzision und Produktivität zu befriedigen.

Über Toshiba

Toshiba ist einer der weltweit führenden Hersteller, Lösungsanbieter und Vermarkter hoch entwickelter elektronischer und elektrischer Produkte und Systeme mit einem breit gefächerten Produktspektrum. Als innovativer und zukunftsweisender Konzern ist Toshiba in einer Vielzahl von Geschäftsfeldern aktiv: digitale Produkte, einschließlich LCD-Fernsehern, Notebooks, Einzelhandelslösungen und Multifunktionsgeräte; elektronische Geräte einschließlich Halbleitern, Speicherprodukten und -materialien; Infrastruktursysteme für Industrie und Gesellschaft. Hierzu zählen Anlagen zur Energieerzeugung, intelligente Lösungen für das Gemeinwesen, medizinische Systeme, Rolltreppen und Aufzüge sowie Haushaltsgeräte.

Toshiba wurde 1875 gegründet und betreibt heute ein weltumspannendes Netzwerk von über 550 angeschlossenen Firmen. Das Unternehmen hat weltweit 202.000 Mitarbeiter und sein jährlicher Gesamtumsatz übersteigt 6,1 Billionen Yen (74 Milliarden US-Dollar). Besuchen Sie die Webseite von Toshiba unter www.toshiba.co.jp/index.htm

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